晶体生长器;晶体生长机

分析了采用滑阀式真空泵直拉单晶炉真空系统的缺点;
来源:互联网摘选单晶炉炉室真空密闭性能是衡量单晶炉设备性能好坏的重要因素。空气通过植物冠层移动的能力直接与温室的密闭程度有关。
来源:互联网摘选improvement of vacuum and air-charging systems for czochralski crystal grower
直拉单晶炉真空系统和充气系统的改进
来源:互联网摘选
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